作者:   發(fā)布時(shí)間:2012/11/3 21:50:43   瀏覽次數(shù):3286

半導(dǎo)體金屬氧化物氣體傳感器問(wèn)世

目前需要檢測(cè)的氣體種類由原來(lái)的還原性氣體(H,天然氣及礦井中的瓦斯氣體的檢測(cè)與報(bào)警。CH,CH等擴(kuò)展到毒性氣體(CO,NO,HS,NO,NH,PH等。氣體傳感器種類繁多。按所用氣敏材料及氣敏

可分為半導(dǎo)體式、固體電解質(zhì)式、電化學(xué)式、接觸燃燒式、高分子式等。.半導(dǎo)體氣體傳感器這種傳感器主要使用半導(dǎo)體氣敏材料。自從年半導(dǎo)體金屬氧化物氣體傳感器問(wèn)世以來(lái)，特性不同。

得到廣泛的應(yīng)用，由于具有靈敏度高、響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)。目前已成為世界上產(chǎn)量最大、使用最廣的傳感器之一。依照檢測(cè)氣敏特征量方式不同分為電阻式和非電阻式兩種。電阻式半導(dǎo)體氣體

大大提高了這種氣傳感器是通過(guò)檢測(cè)氣敏元件隨氣體含量的變化情況而工作的主要使用金屬氧化物陶瓷氣敏材料。隨著近年來(lái)復(fù)合金屬氧化物、混合金屬氧化物等新型材料的研究和開發(fā)。

ZnO-CuO氣體傳感器對(duì)ppmCO非常敏感。非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是利用氣敏元件的電流或電壓隨氣體含體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。例如：WO氣體傳感器可檢測(cè)NH濃度范圍為ppmppm.

以及場(chǎng)效應(yīng)管式氣體傳感器。檢測(cè)氣體大多為氫氣、硅烷等可燃?xì)怏w。.固體電解質(zhì)氣體傳感器固體電解質(zhì)氣體傳感器使用固體量而變化的原理工作的主要有MOS二極管式和結(jié)型二極管式。

從而形成電動(dòng)勢(shì)，電解質(zhì)氣敏材料做氣敏元件。其原理是氣敏材料在通過(guò)氣體時(shí)產(chǎn)生離子。丈量電動(dòng)勢(shì)從而測(cè)量氣體濃度。由于這種傳感器電導(dǎo)率高，靈敏度和選擇性好，得到廣泛的應(yīng)用

半導(dǎo)體金屬氧化物氣體傳感器問(wèn)世